HSQ 330

HSQ 330 ist ein hochreines elektrisch geschmolzenes Quarzglas, für das Maximalwerte chemischer Fremdstoffe garantiert werden. Das physikalisch zu HSQ 300 äquivalente Material ist für alle Anwendungen prädestiniert, die eine nachgewiesene Reinheit erfordern.

Merkmale / Besonderheiten:

Rohre, Barren, Stäbe, Blöcke, Platten, Scheiben mit garantierter chemischer Reinheit

Produkte und Anwendungen:

Halbleiterprozesse mit unterschiedlich hohen Reinheitsanforderungen zwischen Raumtemperatur und hohen Temperaturen: CVD-Rohre, Diffusionsöfen, Epitaxiekammern, Ätzanlagen; optische Anwendungen, Rohre, Barren, Stäbe, Blöcke, Platten, Scheiben, Flansche

Chemische Reinheit – Typische Spurenelemente und OH - Gehalt in Quarzglas (ppm)

Spurenelemente

OH - Gehalt

typisch

0.5

n.s.

<0.05

<0.03

0.1

0.2

0.6

0.05

<0.05

0.2

1.1

0.7

<30*

garantiert

<25

1.0

n.s.

0.1

0.5

0.8

1.5

0.3

n.s.

<0.5

n.s.

≤40

^{* Der OH - Gehalt liegt typisch unter 30 ppm. Dieser Wert kann durch weitere Heissprozesse reduziert weden.}

HSQ 330

Merkmale / Besonderheiten:

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