HSQ 300

HSQ 300 ist die Standardqualität von Heraeus Quarzglas für Halbleiteranwendungen. Die strengen Reinheits- anforderungen der Halbleiterindustrie werden durch dieses elektrisch geschmolzene Quarzglas häufig übertroffen. Durch den mehrstufigen Herstellprozess wird das Material homogenisiert und der Gehalt an Blasen stark vermindert.

Merkmale / Besonderheiten:

Quarzglas in Halbleiter-Qualität thermisch stabil bis 1160° (kurzzeitig 1300°C), geringe Wärmeleitfähigkeit von 1,38 - 2,68 W/mK, Alkalimetallgehalt: < 1,5 ppm, OH-Gehalt: < 30 ppm

Produkte und Anwendungen:

Halbleiterprozesse mit unterschiedlich hohen Reinheitsanforderungen zwischen Raumtemperatur und hohen Temperaturen: CVD-Rohre, Diffusions- öfen, Epitaxiekammern, Ätzanlagen; optische Anwendungen

Chemische Reinheit – Typische Spurenelemente und OH - Gehalt in Quarzglas (ppm)

Elemente

OH - Gehalt

HSQ 300

0.5

n. s.

<0.05

0.1

0.4

0.6

0.05

<0.05.

0.3

1.1

0.7

<30

HSQ 300

Merkmale / Besonderheiten:

Produkte und Anwendungen:

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